“余总,其实对于ASML的设备,我不熟悉,以前也未曾使用过。所以我想说的不多。不过我想强调一点的是,设备制造标准的统一性,具体来说就是和目前香积电已经存在的3微米光刻机的协调配合,甚至与曰本其他厂商生产的刻蚀机、🐝🀸🁧离子注入机等设备配合,都要考虑在内!”
鹿岛智树给大家进一步解释……
香积电的工艺实验室(研发中心)和厂里🁘🆇🍜生产线的批量生产的设备虽然属于同一机种,要将实验室的工艺导入到生产线,对生产线进行升级,想要得到最终理想的目标工艺结果,比如说1.2微米的工艺制程,就必须不断的对生产线的设备或者工艺做进一步调整🇪,最后找到一个微妙的合适的某一点,或者无限接近这个点,最终让所有的设备和工艺处于最佳的状态,良率大幅度提高,确保在80以上……
如果这个点找不出来,就算是可以调试出1🕶🎈.2微米的制程来,但是良率会上不去……甚至有可能良率为零的可能!
要知道,即使是同一家生产的同👨🚈一个规格型号的设备,也是存在这微小的性能和🔎⛇状态差异,这种差异称之为“机差”。
“机差”,是每一个半导体制造设🙚🖍备厂家在生产同一型号的设备时,因不可控因素的存🛓在而导致的设备差异。😼🆭💮
随着半导体设备精密🞉化程度的不断提高,机差的问题也日益显著。
正是因为机差等各种因素影响,一般来说,新建设的生产线试生产时,初始良率几乎都是零。而将良☮率尽快提高到接近80%(或者某一目标值),并且长期维持接近80%(或者某一目标值)的成品率的技术,才是工厂批量生产的最终目标和要求!
“所以,余总,我建议我们在设备采购的合同上一定要特备要求,各设备厂家在设备安装调试期间,必须选派技术熟练的技术人员到场指导、或者监督,确保每一台设备的正确安装,乃至下一步的设备联试的顺利进行,最大程度的缩短调试周期!然后开始产生🅱效益!哪怕是我们为此付出额外的设备安装指导的技术工人费用,都是非常值得的!”
“说的好!”听到鹿岛智树真知灼见,余子贤不仅为自己能够成功聘请鹿岛智树庆幸🕄🕄!以为下一步香积电的生产线升级庆幸🜥🄓☲!
想必,有这位专家监督☚⛢🜁,香🞞🕑积电的生产线升级改造会少走许多弯路,顺利许多!
“鹿岛叔,你还有什么补充的吗?”
“暂时没有了!”
“那其他人还有没有补充的?”
“没有……”
“没有!”
……
“那好,我再说两点:第一,我们暂时将生🕶🎈产线芯片工艺制程确定为1.2微米级别🕄!我们4英寸晶☮圆的对应芯片工艺制程最小就是1.2微米!”
第二,程渡,你下来之后赶快联系曹飞他们,让他们再一次接触佳能,加强公关,争取让🝈佳能尽早回复1🏁🗄🙁.2微米光刻机步进式的出售可能性……并且让他们加快其他设备厂商的谈判,争取早日供货,最🖼🗿好在1个月内就能供货……